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震蕩器(下稱XO)是一類運(yùn)用諧振器和諧振電路形成塔鐘訊號(hào)的有源電子元器件，因?yàn)樗娪嵦?hào)需要穩(wěn)定，因而頻率穩(wěn)定是震蕩器性能的重要指標(biāo)值之一，即頻率隨溫度的變化。除標(biāo)準(zhǔn)震蕩器以外，還能夠?qū)ⅹ?dú)特功能加入到XO中組成特殊震蕩器，如SsXO或VCXO和DcXO。MEMS面世以前，石英是震蕩器應(yīng)用的主要工藝。表層音波也主要用以高頻低顫動(dòng)震蕩器。MEMS工藝如今普遍用以各類震蕩器，包含超低功耗kHzXO、超低顫動(dòng)差分XO、系統(tǒng)可編XO，以及超穩(wěn)定TCXO和OCXO。

MEMS塔鐘工藝對(duì)5G的必要性

在網(wǎng)絡(luò)和通訊中，時(shí)序同歩對(duì)整個(gè)系統(tǒng)極其重要，MEMS塔鐘的彈力保證穩(wěn)定性能，對(duì)缺乏控制，更嚴(yán)格的環(huán)境中布署5G尤為重要。穩(wěn)定性和動(dòng)態(tài)性能的同樣需要促進(jìn)了車輛中愈來(lái)愈多地應(yīng)用MEMS諧振器，這類狀況下系統(tǒng)必需在各類嚴(yán)格條件下可靠運(yùn)作。在物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)，MEMS塔鐘具備體型小、重量較輕和低功耗的優(yōu)勢(shì)。

伴隨著我們進(jìn)到5G和邊緣計(jì)算時(shí)期，營(yíng)運(yùn)商的無(wú)線網(wǎng)絡(luò)設(shè)備需要更嚴(yán)格的數(shù)據(jù)同步，因而必需應(yīng)用OCXO。5G以前，這類OCXO布署在控制優(yōu)良的環(huán)境中。如今計(jì)算、關(guān)鍵網(wǎng)絡(luò)和無(wú)線拆分成系統(tǒng)，布署在不受控制的環(huán)境中，如信號(hào)塔、房頂和燈柱。這類環(huán)境下，OCXO將受到震動(dòng)和極端溫度的影響，布署構(gòu)架的這類變化需要新的考慮，以及評(píng)定MEMS和石英定時(shí)工藝的優(yōu)勢(shì)。